磷化铟高电子迁移率晶体管外延结构材料抗电子辐照加固设计作者: 周书星;方仁凤;魏彦锋;陈传亮;曹文彧;张欣;艾立鹍;李豫东;郭旗
摘要:为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计的效果,本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料.针对不同外延结构材料开展了1.5 MeV电子束辐照试验,在辐照注量为2×1015 cm–2条件下,并测试了InP HEMT外延结构材料二维电子气辐照前后的电学特性,获得了辐照前后不同外延结构InP HEMT材料二维电子气归一化浓度和电子迁移率随...查看全部>>