富加镓业成功将氧化镓外延薄膜边界拓展至12英寸OA

近日,杭州富加镓业科技有限公司(以下简称:富加镓业)率先开展了12英寸(1英寸=2.54 cm)氧化镓MOCVD外延技术研发,成功将8英寸氧化镓MOCVD外延工艺外推至12英寸。此次基于8英寸氧化镓MOCVD外延工艺实现的12英寸薄膜的厚度均匀性优于6%,平整度较高,如图1所示。富加镓业于2026年3月制备出厚度10µm级8英寸同质外延片,其厚度均匀性优于3%,表面粗糙度(RMS)低于1 nm,XRD摇摆曲线半峰全宽(FWHM)仅64.8″,如图2所示,可直接用于功率器件制备。