基于迈克尔逊-马赫-曾德复合干涉系统的微小位移测量OACHSSCD
基于迈克尔逊干涉和马赫-曾德干涉的特点及其干涉条纹的优势互补,提出一种基于迈克尔逊干涉仪与马赫-曾德干涉仪的复合干涉系统的高精度位移测量方法。该系统将迈克尔逊干涉仪与马赫-曾德干涉仪有机结合,利用迈克尔逊干涉光路进行整数条纹计数(N),同时通过马赫-曾德干涉光路采集干涉条纹始末图像,经MATLAB图像处理提取亚波长位移对应的小数部分(d N),最终由公式2L=(N+d N)λ实现微小位移测量。实验结果表明,该复合系统在微米级位移范围内具有良好的测量性能,最大误差为-0.1049μm,平均误差为±0.06μm,显著优于单一迈克尔逊干涉仪的平均误差0.21μm,验证了该系统在提升微位移测量分辨率与精度方面的可行性与优越性。
李芳菊;何冰;王凯
渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西渭南714099渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西渭南714099渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西渭南714099
数理科学
微小位移测量迈克尔逊干涉马赫-曾德干涉图像处理
《渭南师范学院学报》 2026 (8)
P.70-77,8
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