碲镉汞红外焦平面器件无效像元研究OA
由于材料和芯片工艺缺陷等原因,碲镉汞红外焦平面器件中不可避免地存在无效像元,影响红外成像系统的图像质量和目标识别。本文将无效像元分为盲元和闪元,通过对盲元和闪元进行分析,探究了盲元和闪元的成因,并提出了相应的控制措施。无效像元的产生受碲镉汞薄膜材料的缺陷密度和芯片工艺过程中引入的工艺缺陷影响,通过改善衬底和薄膜材料外延层质量能有效控制材料缺陷密度、通过器件工艺优化和工艺控制能有效控制工艺过程中引入的缺陷,从而减少无效像元的产生。
龚晓丹;柳东;赵榆松;陈姗;李培源;王海澎;洪闻青;吴啸;高瑞;袁绶章
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信息技术与安全科学
碲镉汞无效像元盲元闪元
《红外技术》 2026 (7)
P.784-790,7
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