双波长单纵模掺镱光纤激光器自混合干涉微位移测量系统OA
为了提高条纹计数法激光自混合干涉位移测量的分辨率,设计了一种双波长单纵模掺镱光纤激光器自混合干涉微位移测量系统。该系统可以输出两路相位相反的自混合干涉信号,采用最优阈值方法对其进行细分,以获得具有λ/8分辨率的可计数特征点,并通过三次样条插值方法重构被测位移。探究了双波长单纵模掺镱光纤激光器自混合干涉特性及微位移测量误差,实验结果表明,当测量靶镜以频率为3~9 Hz、振幅在2~11μm内周期振动时,微位移测量误差在96~105 nm内变化,相应的平均测量误差为100.2 nm,平均相对误差为1.98%。这种双波长单纵模掺镱光纤激光器自混合干涉微位移测量系统设计方案简单可行,具有广阔的应用前景。
朱浩;焦明星;杨奕佳;李广涛;寇科;刘芸;邢俊红
西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048西安理工大学光电科学与智能仪器学院,陕西西安710048
信息技术与安全科学
光纤激光器激光自混合干涉双波长单纵模条纹细分微位移测量
《光学精密工程》 2026 (13)
P.1993-2002,10
国家自然科学基金资助项目(No.51875455,No.52575640)。
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