集成电路有机废水处理技术研究进展与趋势OA
随着集成电路产业的飞速发展,其生产过程中产生的有机废水问题日益凸显。集成电路有机废水成分复杂、毒性强、可生化性差,其安全处置和资源化对于行业可持续发展具有重要意义。本文系统梳理了集成电路有机废水的主要来源、分类与理化特性,分析了常规有机污染物(四甲基氢氧化铵(TMAH)、N-甲基吡咯烷酮、异丙醇等)与微量新污染物(全氟和多氟烷基物质(PFAS))的赋存。在此基础上,从资源回收、能源转化以及深度脱毒三个方面综述了集成电路有机废水处理的研究现状。本文提出分级分类、梯度利用的全流程处理范式,针对组分单一的高浓度有机废液/废水,优先进行高纯度组分的直接回收或降级利用。中高浓度可生化废水实施能源转化,低浓度高毒性废水则采用分离富集和破坏矿化的深度脱毒策略。在此基础上本文评估了各技术的适用范围、经济可行性和技术成熟度,指出当前研究在真实废水条件下的系统性验证不足,技术经济性评估普遍缺失等问题。最后,探讨了当前集成电路有机废水处理面临的挑战,展望了未来发展趋势,旨在为行业的绿色发展提供理论支撑。
王慧悦;袁钰焜;姜楠曦;王昊;刘航;张伟军;熊江磊;罗嘉豪;刘超
中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085 中国科学院大学,北京100049中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085 中国科学院大学,北京100049中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085 中国科学院大学,北京100049中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085中国科学院生态环境研究中心工业废水无害化与资源化国家工程研究中心,北京100085中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡214135中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡214135中国科学院生态环境研究中心区域环境安全全国重点实验室环境水质学重点实验室,北京100085 中国科学院大学,北京100049
资源环境
集成电路有机废水四甲基氢氧化铵全氟和多氟烷基物质废水处理工艺
《能源环境保护》 2026 (4)
P.32-44,13
国家重点研发计划资助项目(2024YFC3907803)。
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