轴承套圈滚道子口径化学机械抛光研究OA
目的高性能滚动轴承工作面的精度和表面完整性直接决定装备的性能、质量和可靠性。已有的全口径化学机械抛光虽然可以实现较高的抛光效率和精度,但通用性有待改善。为此,本文提出了子口径化学机械抛光。方法以一款典型的圆柱滚子轴承的内套圈外滚道为研究对象,介绍其抛光原理,采用有限元仿真分析抛光压力分布,建立材料去除速率模型和形状演化模型,并通过抛光实验验证模型。采用白光干涉仪、圆度/圆柱度测量仪,分别检测抛光前后滚道表面形貌、平均表面粗糙度及形状精度。结果有限元分析显示,加工时滚道中心约90%区域压力分布均匀,可实现均匀抛光。材料去除速率模型表明,其与抛光垫径向位移、转速呈线性关系。形状演化模型表明,抛光可降低滚道表面凹凸不平,改善形状精度。经过2h抛光,平均表面粗糙度S_(a)由141.97nm下降至7.42nm,降幅达94.8%。圆度误差RONt由2.03μm下降至1.88μm,降幅达7.4%,圆柱度误差CYLt由5.83μm下降至5.18μm,降幅达11.1%。结论本文提出了一种子口径化学机械抛光,实现了套圈滚道的高精度抛光,为轴承套圈滚道这类典型回转表面的高精度加工提供了一种通用性强的方法。
陈佳怡;彭武茂;贺春灿;王荣沛;魏宇廷;周辽;韩艳君;江亮;钱林茂
西南交通大学机械工程学院,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031 扬华智造(四川)创新科技有限公司,四川内江641100西南交通大学机械工程学院,成都610031 西南交通大学轨道交通运载系统全国重点实验室,成都610031
矿业与冶金
化学机械抛光子口径超精密轴承套圈滚道
《表面技术》 2026 (13)
P.16-25,10
国家自然科学基金(52235004,U2541265)高性能工具全国重点实验室开放课题研究基金(GXNGJSKL-2026-03)中央高校基本科研业务费(2682025CG001,2682024CG007)。
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