AI赋能“集成电路制造”课程设计与实践的探索研究OA

“集成电路制造”是一门微电子专业的重要核心课程,因其工艺过程不可观测、真实数据难以获得、工艺链条不完整,一直无法很好地支撑学生的工程认知与实践能力训练。文章采用基于人工智能的思想指导课程建设,搭建了由基于生成式模型的缺陷数据增强、虚拟工艺链条仿真和智能知识问答构成的AI赋能教学体系。结合生成式图像模型、大语言模型等技术,实现了从缺陷数据生成、工艺流程虚拟推演到领域知识交互的全流程教学支持,重构了“感知—推演—理解”的工程学习路径。教学实践结果表明,该方案能够有效提升学生对工艺过程的系统性理解和工程判断能力,将课程由知识传授转向了工程体验。