高动态MEMS红外CO_(2)/CH_(4)/CO气体集成传感器研究OA
提出了一种基于红外光谱吸收原理的高动态MEMS气体集成传感器,实现了同时检测CO_(2)、CH_(4)和CO三种气体浓度。在传感器的光学系统部分,采用了非分光红外与差分检测技术,开发了一种直射型气室,协同设计了红外光源与多通道传感器。在传感器及其硬件电路部分,设计了多通道热电堆传感器、光源驱动电路与信号调理电路。此外,通过单片机控制红外光源亮灭与AD采集电压,记录浓度。最后,搭建气体测试平台,测量出在不同气体浓度下传感器的输出电压。经实验,该传感器实现了对CO_(2)、CH_(4)和CO三种气体分别在0~9150×10^(-6)、0~3460×10^(-6)和0~5036×10^(-6)浓度范围内测量,其精度分别为2.30%F.S、3.64%F.S和3.85%F.S。
燕尚泉;沈佳怡;莫橹尧;徐思涵;袁小娇;李波;张志强
东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096
信息技术与安全科学
高动态红外CO_(2)/CH_(4)/CO气体集成传感器
《电子器件》 2026 (3)
P.612-618,7
南京市重大科技专项项目(202405027)2023年江苏省大学生创新训练计划项目(202310286301Y)。
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