电火花精修整成形金刚石砂轮试验OA

多微槽成形金刚石砂轮是高质量晶圆倒角的关键工具,但其加工技术一直是业内难题。搭建电火花精加工平台,使用电火花精修方法对高精度多微槽成形金刚石晶圆倒角砂轮进行修整,并通过正交试验探究放电电压、放电电流和脉宽等3个因素对砂轮轮廓精度与表面质量的影响。结果表明:金刚石晶圆倒角砂轮修整后角度偏差受放电电压、放电电流、脉宽的影响较小,而圆弧半径偏差主要受放电电流影响,深度偏差主要受放电电压影响;对于砂轮表面粗糙度,各参数影响的主次顺序为放电电流>放电电压>脉宽,且放电电流的影响最显著;优化得到的砂轮精修工艺电参数组合为放电电压50 V、放电电流3 A、脉宽40μs,在此参数下,砂轮表面获得槽深为596.35μm、圆弧半径为178.72μm、槽形角度为44.25°的合格槽型,且微槽底部圆弧平整光滑、无明显缺陷,粗糙度极低;槽壁光洁度较好、边缘整齐清晰、划痕细密均匀、壁面无明显毛刺和崩边现象,砂轮表面无裂纹与热变形等情况。用修整后的金刚石晶圆倒角砂轮磨削石墨片,测得石墨片工件的圆弧半径最大偏差为14.860μm,平均偏差为6.069μm;直线夹角最大偏差为0.483°,平均偏差为0.293°;槽深度最大偏差为11.775μm,平均偏差为9.905μm,磨削后的石墨片槽光洁度较高,边缘整齐清晰,磨痕细密均匀。