RB-SiC的干式放电辅助磨削表面质量OA

反应烧结碳化硅(RB-SiC)空间反射镜的成像质量和光学性能主要取决于其镜面加工质量,为提高RB-SiC反射镜的磨削质量与效率,提出一种环保高效的干式放电辅助磨削加工方法。该方法利用电火花放电降低RB-SiC表面的纳米硬度和弹性模量,促进其由脆性去除向塑性去除转变,同时保持金属基砂轮的自锐性。对RB-SiC进行干式放电辅助磨削加工实验,系统研究放电参数和磨削工艺参数对工件表面粗糙度和表面损伤的影响。结果表明:当开路电压为60 V、脉冲宽度为30μs、脉冲间隔为30μs、磨削深度为5μm、砂轮转速为3000 r/min、进给速度为10 mm/min时,RB-SiC工件磨削表面的脆性断裂损伤和放电烧蚀损伤最小,表面线粗糙度R_(a)达到0.161μm、面粗糙度S_(a)达到0.261μm,与普通磨削相比,分别降低26.8%与31.3%。