基于电光相位调制的高频激光测振仪校准方法OA

针对激光测振仪的高频校准需求,基于电光相位调制原理设计并实现了1种校准装置,采用电光相位调制生成等效振动信号,激光测振仪的测量光束经电光调制器与反射镜后沿原光路返回,经该等效振动信号调制后的测量光束与参考光束发生干涉,进而生成多普勒信号。通过将多普勒信号的解调结果与共光路的参考激光干涉仪的解调结果进行比对,完成校准。采用2台Polytec OFV-505/5000型激光测振仪开展校准验证,20 kHz~2.5 MHz频率范围内,参考与待测仪器的速度解调结果相对偏差大多小于2%,证实了该校准方法的可行性。基于电光相位调制法生成等效振动信号,通过合理选型电光调制器,可将校准频率覆盖至25 MHz。基于电光相位调制的激光测振仪校准方法,可实现激光测振仪整机系统校准,为50 kHz以上频段高频激光测振仪的校准提供了有效解决方案。