电磁式角位移传感器的误差分析及补偿方法研究OA

针对电磁式角位移传感器由于制作误差、安装误差和电气误差等影响导致原始测量误差较大,提出一种误差逐级补偿方法.通过对电磁式角位移传感器感应信号的分析,确定了感应信号存在直流偏量误差、幅值误差和相位误差,并分析了三种误差对测量系统的影响.对此构建了针对直流、幅值、相位三类误差的逐级补偿流程,并将难以直接校正的相位不正交问题转化为可被前级模块处理的幅值与直流误差形式.实验结果表明,经误差修正后,电磁式角位移传感器单个节距内误差从±80.2"降低至±3.5",一次误差与二次误差得到大幅抑制,整周误差从±87.1"降低至±4.52",显著提高了传感器的测量精度.