基于数字相位校正的双波长数字全息台阶高度测量OA
Dual-wavelength digital holographic step height measurement based on digital phase correction
针对材料表面台阶高度测量中存在的2π相位模糊及离轴全息频谱移频引发的整体倾斜误差问题,提出一种基于数字相位校正的双波长数字全息台阶高度测量技术.该技术利用双波长激光照明获取全息图,采用数字滤波提取相位,并通过平面拟合法进行整体相位校正,有效剔除频谱非连续移频引起的倾斜误差.仿真与实验结果表明:经倾斜校正后,y方向与x方向的相对误差分别降低至校正前的1/8.4与1/12.2.
In order to solve 2π phase ambiguity in measuring the step height on material surfaces and overall tilt errors caused by off-axis holographic spectrum frequency shift,a dual-wavelength digital holographic measurement technique based on digi-tal phase correction is proposed.This technique uses dual-wavelength laser illumination to obtain holograms,employs digital filtering to extract the phase,and performs overall phase correction through plane fitting,effectively eliminating tilt errors caused by discontinuous spectrum frequency shifts.Simulation and experimental results show that after tilt correction,the rela-tive errors in the y-direction and x-direction are reduced to 1/8.4 and 1/12.2 of their pre-correction values,respectively.
屈玲;李常伟;吴婧;陆彦婷
南京信息工程大学 物理与光电工程学院,南京 210044||中国科学院 南京天文光学技术研究所,南京 210042||中国科学院 天文光学技术重点实验室(南京天文光学技术研究所),南京 210042中国科学院 南京天文光学技术研究所,南京 210042||中国科学院 天文光学技术重点实验室(南京天文光学技术研究所),南京 210042||中国科学院大学 天文与空间科学学院,北京 100049南京信息工程大学 物理与光电工程学院,南京 210044中国科学院 南京天文光学技术研究所,南京 210042||中国科学院 天文光学技术重点实验室(南京天文光学技术研究所),南京 210042
信息技术与安全科学
台阶高度双波长数字全息平面拟合整体倾斜
step heightdual-wavelength digital holographicplane fittingoverall tilt
《光通信技术》 2026 (2)
54-60,7
国家自然科学基金项目(11873069)资助中国科学院青年创新促进会项目(2019064)资助.
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