基于气体电离的MEMS电场传感器设计与研究OA
近年来我国电能工业产业链及相关设施迈入高质量发展阶段,精准的电场检测器件成为保障电力系统及民生安全的关键.鉴于此,提出并研究了一种基于气体电离的MEMS电场传感器,依据气体放电理论,通过多物理场仿真得到传感器最优结构;采用MEMS工艺进行制作,并基于制作好的传感器研究了其在工频电场中的输出响应特性.研究结果表明,该传感器具备尺寸小、测量电场范围广、准确度高等优势,有效克服了传统传感器体积大、量程窄、精度低的问题,在电场测量场景中具有广阔的应用前景.
刘启;吕明泽;曹至欣;赵君
中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所,陕西 西安 710068中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所,陕西 西安 710068中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所,陕西 西安 710068中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所,陕西 西安 710068
信息技术与安全科学
MEMS气体电离工频电场
《机电信息》 2026 (6)
35-38,4
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