m-MoO2薄膜中厚度依赖的拉曼光谱研究OA
Thickness-dependent Raman Spectroscopy of m-MoO2 2D Flakes
单斜晶相二氧化钼二维薄膜具备与贵金属相比拟的优异性能,并可通过薄膜厚度进行调节,在环境及污水监测探测器以及传感器等领域展现出极大的应用潜能.获得高性能二氧化钼二维薄膜器件的先决条件之一是能够对薄膜厚度实现原位、快速、无损检测.本文通过研究二氧化钼二维薄膜拉曼光谱对薄膜厚度的依赖关系,给出一种可用于二氧化钼二维薄膜厚度原位无损检测的方式.使用532 nm作为激发光源,二氧化钼二维薄膜的127 cm-1的拉曼特征峰位变化可以有效反映材料厚度的变化.通过改变激发光的偏振,可以进一步对二氧化钼二维薄膜的晶轴取向进行标定.该拉曼光谱表征结果为监控二氧化钼二维薄膜器件中的膜厚提供了一种有效便利的手段.
Monoclinic-phase molybdenum dioxide(m-MoO2)two-dimensional(2D)flakes exhibit outstanding prop-erties comparable to those of noble metals,with tunable performance depending on flake thickness.This makes it high-ly promising for applications in areas such as environmental monitoring and wastewater sensing.One of prerequisites for achieving high-performance MoO2-based devices is the development of an in-situ,rapid,and non-destructive method for measuring flake thickness.In this work,the dependence of the Raman spectra of MoO2 2D thin flakes on flake thickness is investigated,providing a method for in-situ,non-destructive thickness characterization.Excited with 532 nm laser,the shift in the Raman characteristic peak at 127 cm-1 effectively reflects the variation in flake thick-ness.Furthermore,by adjusting the polarization of the excitation light,the crystal axis orientation of the MoO2 thin flake can be calibrated.The Raman spectroscopic results thus offer an effective and convenient approach for monitor-ing the flake thickness in MoO2-based device fabrication.
龚之麟;程晋罗;包有喆;单雨薇;辛星;范炟铄;石芝铭;王韦茗;常凯楠;宋颖
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,微纳光子学与材料国际实验室,吉林长春 130033||中国科学院大学,北京 100049中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,微纳光子学与材料国际实验室,吉林长春 130033||中国科学院大学,北京 100049东北师范大学物理学院,集成光电子学国家重点实验室,紫外发光材料与技术教育部重点实验室,吉林长春 130024中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,微纳光子学与材料国际实验室,吉林长春 130033||中国科学院大学,北京 100049东北师范大学物理学院,集成光电子学国家重点实验室,紫外发光材料与技术教育部重点实验室,吉林长春 130024中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,吉林长春 130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,吉林长春 130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,微纳光子学与材料国际实验室,吉林长春 130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所特种发光科学与技术全国重点实验室,微纳光子学与材料国际实验室,吉林长春 130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造全国重点实验室,吉林长春 130033
数理科学
二氧化钼薄膜拉曼光谱原位无损检测
m-MoO2 flakesRaman spectroscopyin situ non-destructive detection
《发光学报》 2026 (2)
211-217,7
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