模板效应下TiC/VC纳米多层膜界面结构的第一性原理研究OA
针对小调制周期纳米多层膜TiC/VC的异常界面结构,采用第一性原理的计算方法,根据生长表面粗糙度与调制周期的关系,研究了TiC/VC多层膜的界面结构特征,并由此分析了多层膜的超硬现象.结果发现,表面原子的吸附迁移行为影响着多层膜生长表面的粗糙度,当与调制周期相近时,形成“魔方”式界面结构,即生长表面层间距趋同于各组分层间距的中间值,具体数值还受到调制比的影响;界面处异质金属原子促进了原子的迁移,同时阻碍了C原子的团聚,进而提高了多层膜的晶格完整性;晶格的完整性和界面“三向”协调应力是TiC/VC多层膜产生超硬特性的重要因素.
孙士阳;钱远近;刘阳;张俊皓;任元;徐平平;张文兴
内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010
通用工业技术
纳米多层膜界面结构表面粗糙度第一性原理
《原子与分子物理学报》 2026 (1)
P.123-132,10
国家自然科学基金(52162033)内蒙古自治区自然科学基金(2024LHMS05035)内蒙古自治区高校基本科研项目(2024QNJS043)。
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