速调管具有大功率、高效率、长寿命的特点和优势,在大科学和工业加热中有着广泛的应用。针对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)应用设计了一种10~15 kW级的小型化连续波速调管,速调管总重量小于30 kg,在电压16 kV、电子注电流2 A的状态下获得了大于17 kW的输出功率,效率达到56%以上。
李闯;卫博;李冬凤;冯海平;王刚;FAN Ying-shan;
北京真空电子技术研究所,北京100015
电子信息工程
速调管;连续波;永磁聚焦;注波互作用
《真空电子技术》 2024 (002)
P.11-15 / 5
10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2024.02.03
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