采用热分解法制备粒径约为30 nm的单分散氧化锰纳米颗粒,然后通过浸渍提拉法将这些纳米颗粒在铂底电极上自组装成氧化锰薄膜,接着利用热蒸镀工艺沉积硒化银薄膜,最后利用磁控溅射工艺沉积钛顶电极,获得具有Ti/Ag_(2)Se/MnO/Pt结构的阻变存储器。该器件表现出双极性电阻转变特性,并且具有良好的循环特性和数据保持特性,表明Ti/Ag_(2)Se/MnO/Pt阻变存储器在非易失性存储器件中具有潜在的应用前景。
罗涵琼;胡全丽;
内蒙古民族大学化学与材料学院,内蒙古通辽028000
化学
硒化银;氧化锰;薄膜;阻变存储器
《云南化工》 2024 (002)
P.37-40 / 4
内蒙古自治区高等学校科学技术研究自然科学重点项目(项目编号:NJZZ22461);内蒙古民族大学博士启动基金(项目编号:BS456);内蒙古自治区自然科学基金青年基金项目(项目编号:2022QN02016)。
10.3969/j.issn.1004-275X.2024.02.09
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